古本と中古自転車の現代屋

［古本］状態：並上

著者/訳者名 和佐清孝／著　早川茂／著
出版社名 共立出版 (ISBN：4-320-08613-9)
発行年月 2006年再刷
20090112/20091217/20101005

第１部　薄膜とその応用（薄膜材料
薄膜の形成法と評価
スパッタプロセスにおける興味ある現象）
第２部　スパッタの基礎と応用（スパッタの基礎
スパッタ装置と動作特性
化合物薄膜とスパッタ蒸着
薄膜構造の精密制御とナノメータ材料）