［古本］状態：並上
著者/訳者 權田俊一／編集 谷口研二／編集
出版社名 丸善
発行年月 2010年09月
ISBN978-4-621-08284-3
20101009
目次
１ ＭＯＳ型集積回路プロセスの概要（ＣＭＯＳ集積回路
ＭＯＳ型集積回路の要素技術）
２ ＬＳＩ製造プロセス技術の基礎（準平衡プロセス
非平衡プロセス ほか）
３ フロントエンド技術（ＣＭＯＳの基礎
ゲートスタック形成技術 ほか）
４ バックエンド技術（多層配線の設計
多層配線材料と多層配線プロセス ほか）
付録Ａ 故障時間データ分布（対数正規分布
ワイブル分布）
