［古本］状態：並上
著者/訳者 金原粲／監修 吉田貞史／編著 近藤高志／編著 日本学術振興会薄膜第１３１委員会／編集企画
出版社名 丸善出版
発行年月2011年06月
978-4-621-08414-4
20111202
１ 薄膜工学の基礎（薄膜の基礎
薄膜のプロセスと応用）
２ 薄膜の作製法（真空蒸着
スパッタリング
化学気相成長法）
３ 薄膜の評価（形状・構造評価
組成評価・分析
力学的・機械的性質の評価）
４ 薄膜の機能と応用（半導体薄膜
光学薄膜と透明導電膜
誘電体薄膜
磁性薄膜
薄膜の化学的性質と機能
有機薄膜）
