メニュー


大岡山駅前 東工大正門

◎当店を紹介頂きました

『散歩の達人』
2014年3月号

『リサイクル通信』
2014年6月10日号

古本屋ツアー・イン・ジャパン

ピタットハウス大岡山店丸栄商事さんブログ

メーカー別

特定商取引法表示
トップページ ｜ 工学 ｜ 薄膜化技術　第３版
詳細

薄膜化技術　第３版

価格: 3,885円(税別)
(税込: 4,273円)
定価: 5,250円
［古本］状態：並上

著者/訳者名 和佐清孝／著　早川茂／著
出版社名 共立出版 (ISBN：4-320-08613-9)
発行年月 2006年再刷
20090112/20091217/20101005

第１部　薄膜とその応用（薄膜材料
薄膜の形成法と評価
スパッタプロセスにおける興味ある現象）
第２部　スパッタの基礎と応用（スパッタの基礎
スパッタ装置と動作特性
化合物薄膜とスパッタ蒸着
薄膜構造の精密制御とナノメータ材料）