[古本]状態:並上
著者/訳者 橘邦英/編著 石井彰三/編著 寺嶋和夫/編著 白藤立/編著
出版社名 オーム社
発行年月 2009年03月
978-4-274-20703-7
20091218/20100123/20100828
第1章 序論(マイクロプラズマの定義とその特徴
マイクロプラズマの生成 ほか)
第2章 微小空間高密度媒質中での放電プラズマ現象(高密度媒質による特徴
微小性による特徴 ほか)
第3章 マイクロプラズマの生成(気体を用いたマイクロ放電によるプラズマ生成技術
液体や固体が関わるマイクロ放電によるプラズマ生成技術 ほか)
第4章 マイクロプラズマの診断とシミュレーション(プラズマメータの計測
気相・表面近傍での反応活性種の計測 ほか)
第5章 マイクロプラズマの応用(材料プロセス応用
微量化学分析・センサへの応用 ほか)