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詳細

半導体デバイスシリーズ　３　プロセスインテグレーション

価格: 4,410円(税別)
(税込: 4,851円)
定価: 5,985円
［古本］状態：並上

著者/訳者 權田俊一／編集　谷口研二／編集
出版社名 丸善
発行年月 2010年09月
ISBN978-4-621-08284-3
20101009

目次
１　ＭＯＳ型集積回路プロセスの概要（ＣＭＯＳ集積回路
ＭＯＳ型集積回路の要素技術）
２　ＬＳＩ製造プロセス技術の基礎（準平衡プロセス
非平衡プロセス　ほか）
３　フロントエンド技術（ＣＭＯＳの基礎
ゲートスタック形成技術　ほか）
４　バックエンド技術（多層配線の設計
多層配線材料と多層配線プロセス　ほか）
付録Ａ　故障時間データ分布（対数正規分布
ワイブル分布）