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分光エリプソメトリー　第２版

価格: 4,515円(税別)
(税込: 4,966円)
定価: 6,090円
［古本］状態：並上

著者/訳者 藤原裕之／著
出版社名 丸善出版
発行年月 2011年05月
978-4-621-08322-2
20110616

第１章　分光エリプソメトリーとは
第２章　光学の基礎
第３章　偏光
第４章　分光エリプソメトリーの原理
第５章　データ解析
第６章　光学異方性の評価
第７章　材料別解析例
第８章　分光エリプソメトリーによる実時間観測